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傳感器的分類有很多種，傳感器按照他們的制造工藝分類
集成傳感器薄膜傳感器厚膜傳感器陶瓷傳感器
集成傳感器就是用標(biāo)準(zhǔn)的生產(chǎn)硅基半導(dǎo)體集成電路的工藝技術(shù)制造的。通常還會(huì)用在初步處理被測(cè)信號(hào)的部分電路也就是集成在同一芯片上。
薄膜傳感器就是通過(guò)沉積在介質(zhì)襯底(基板)上的，相應(yīng)敏感材料的薄膜形成的。使用混合工藝時(shí)，同時(shí)可以把部分電路制造在此基板上。
厚膜傳感器是利用相應(yīng)材料的漿料，涂覆在陶瓷基片上制成的，基片通常是Al2O3制成的，然后再進(jìn)行熱處理，使得厚膜成形。
陶瓷傳感器采用標(biāo)準(zhǔn)的陶瓷工藝或者是其他某種變種工藝(溶膠-凝膠等)生產(chǎn)。
完成適當(dāng)?shù)念A(yù)備性操作之后，已經(jīng)成形的元件在高溫中進(jìn)行燒結(jié)。厚膜與陶瓷傳感器這二種工藝之間有許多共同特性，在某些方面，可以認(rèn)為厚膜工藝是陶瓷工藝的一種變型。
傳感器分類按照每個(gè)工藝技術(shù)都有自己的優(yōu)點(diǎn)以及不足。因?yàn)檠芯�、開(kāi)發(fā)與生產(chǎn)所需的資本投入較低，和傳感器參數(shù)的高穩(wěn)定性等原因，采用陶瓷和厚膜傳感器比較合理。
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