壓力傳感器應(yīng)用的領(lǐng)域是很廣泛,一般選擇壓力傳感器的時(shí)候我們需要考慮他的綜合精度,而壓力傳感器的精度受哪些方面的影響呢?或者說什么原因會(huì)造成傳感器的誤差呢?其實(shí)形成傳感器誤差的因素有許多,下面我們注意說四個(gè)無(wú)法避免的誤差,這是傳感器的初始誤差。
第一的偏移量誤差:因?yàn)閴毫鞲衅髟谡麄(gè)壓力范圍內(nèi)垂直偏移保持恒定,所以變換器擴(kuò)散與激光調(diào)節(jié)修正的變化將產(chǎn)生偏移量誤差。 第二是靈敏度誤差:產(chǎn)生誤差大小與壓力成正比。假如設(shè)備的靈敏度高于典型值,靈敏度誤差將是壓力的遞增函數(shù)。如果靈敏度低于典型值,那么靈敏度誤差將是壓力的遞減函數(shù)。該誤差的產(chǎn)生原因在于擴(kuò)散過程的變化。 第三點(diǎn)是線性誤差:這是一個(gè)對(duì)壓力傳感器初始誤差影響較小的因素,這種誤差的產(chǎn)生原因就是在于硅片的物理非線性,不過對(duì)于帶放大器的傳感器,還應(yīng)該包括放大器的非線性。線性誤差曲線可以是凹形曲線,也可以是凸形曲線稱重傳感器。第四是滯后誤差:在大多數(shù)情形中,壓力傳感器的滯后誤差完全可以忽略不計(jì),所以硅片具有很高的機(jī)械剛度。一般只需在壓力變化很大的情形中考慮滯后誤差。
壓力傳感器的這個(gè)四個(gè)誤差是無(wú)法避免的,我們只能選擇高精度的生產(chǎn)設(shè)備,利用高新技術(shù)來降低這些誤差,還可以在出廠的時(shí)候進(jìn)行一點(diǎn)的誤差校準(zhǔn),盡最大的可能來降低誤差以滿足客戶的需要。
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