傳感器的分類有許多種,同樣的傳感器還可以通過不同方式進(jìn)行分類。有一類就是在測量目的進(jìn)行區(qū)分傳感器。這樣傳感器可分為物理型傳感器,化學(xué)型傳感器等等。下面就物理型傳感器做一個簡單的分析介紹,物理型傳感器又可以分為結(jié)構(gòu)型傳感器與物性型傳感器。
結(jié)構(gòu)型傳感器是以結(jié)構(gòu)(例如形狀、尺寸等)為基礎(chǔ),利用某些物理規(guī)律來感受(敏感)被測量,井將其轉(zhuǎn)換為電信號實現(xiàn)測量的。如果電容式壓力傳感器,必須有按規(guī)定參數(shù)設(shè)計制成的電容式敏感元件,在被測壓力作用在電容式敏感元件的動極板上時,引起電容間隙的變化導(dǎo)致電容值的變化,因此而實現(xiàn)對壓力的測量。又比如諧振式壓力傳感器,必須設(shè)計制作一個合適的感受被測壓力的諧振敏感元件,在被測壓力變化時,改成變諧振敏感結(jié)構(gòu)的等效剛度,導(dǎo)致諧振敏感元件的固有頻率發(fā)生變化,從而實現(xiàn)對壓力的測量。
物性型傳感器就是利用某些功能材料本身所具有的內(nèi)在特性及效應(yīng)感受(敏感)被測量,并轉(zhuǎn)換成可用電信號的傳感器。如果利用具有壓電特性的石英晶體材料制成的壓電式傳感器,就是利用石英晶體材料本身具有的正壓電效應(yīng)而實現(xiàn)對壓力測量的;利用半導(dǎo)體材料在被測壓力作用下引起其內(nèi)部應(yīng)力變化導(dǎo)致其電阻值變化制成的壓阻式傳感器,就是利用半導(dǎo)體材料的壓阻效應(yīng)而實現(xiàn)對壓力測量的。
一般而言,物理型傳感器對物理效應(yīng)與敏感結(jié)構(gòu)都有一定要求,不過側(cè)重點不同。結(jié)構(gòu)型傳感器強(qiáng)調(diào)要依靠精密設(shè)計制作的結(jié)構(gòu)才能保證其正常工作;而且物性型傳感器則主要依據(jù)材料本身的物理特性、物理效應(yīng)來實現(xiàn)對被測量的感應(yīng)。最近幾年來,因為材料科學(xué)技術(shù)的飛速發(fā)展與進(jìn)步,物理型傳感器應(yīng)用越來越廣泛。這與該類傳感器便于批量生產(chǎn)、成本較低及易于小型化等持點密切相關(guān)。
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