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在現(xiàn)在的半導(dǎo)體、制藥等行業(yè)的制造工藝操作中，這當中包含ALD, CVD 與PVD 設(shè)備，對于高純度金屬化合物的液位的精準測量非常重要。用來檢測該液位的傳感器必須很衛(wèi)生，不可以有碎片，污染源，而且也不可以像浮球技術(shù)一樣的有可能被卡住。還有這些化合物本身的物理特性，例如氣泡，霧氣等也要不能對傳感器的性能有任何影響。
解決辦法：
由集晟機電代理的美國原廠生產(chǎn)的SL-900系列“tube-in-tube” 型超聲波液位傳感器就是專門針對此高要求而設(shè)計研發(fā)的，現(xiàn)在已大量供給歐美、新加坡、韓國、日本、臺灣、中國大陸等半導(dǎo)體與制藥等行業(yè)的的金屬化合物廠家做為其容器的重要部件。
這個產(chǎn)品由放大模塊，316L不銹鋼傳感器和延長線組成。沒有可移動部件，非常小的機身，對被測化合物沒有介質(zhì)、粘度、顏色、密度的要求。經(jīng)驗證明可以完美檢測的化合物有：DMAH, TAETO, CVD, TDEAT, CUTMUS, TEOS, DCE, TCA，精度可達2m。 SL-900系列還可根據(jù)客戶容器不同的尺寸和不同報警點的要求訂制，實現(xiàn)多點檢測（最高可達8個點）。
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