我們把測量位移量以及檢測物體位置的傳感器就叫位移傳感器。測量兩物體空間相對距離的傳感器也可以視為位移傳感器。位移傳感器可以分成為接觸式以及非接觸式兩大類。接觸式位移傳感器就是把導(dǎo)桿和被測體固定在一起,再把導(dǎo)桿的位置信號轉(zhuǎn)換成電信號。傳統(tǒng)的接觸式位移傳感器包含有電阻式、電感式、電容式、電磁式以及光柵式幾種。
不需要導(dǎo)桿就可以直接檢測目標(biāo)物位移的傳感器成為非接觸式位移傳感器。非接觸式位移傳感器通常利用電感、電容或電磁技術(shù)、激光、遠(yuǎn)紅外、微波或者是超聲波技術(shù)進(jìn)行測距。在需要建立以及維護(hù)位置偏置的工程應(yīng)用中,位移傳感器的使用十分廣泛。根據(jù)不同的要求,測量位移的范圍也相差很大,從需要用長波長微波器件測量公里級的位移,再到短波長微波器件測量米級的位移,到常用的各種位移傳感器測量的毫米級位移,以及用在激光干涉法測量微米級位移,直到用x射線衍射干涉法測量亞納米級位移。
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